中国首家300mm晶圆再生工厂在合肥量产

【类型】期刊

【题名】中国首家300mm晶圆再生工厂在合肥量产

【作者】

【关键词】 正式开工 安徽省合肥市 半导体 项目总投资 量产 晶圆厂 微项目 试生产阶段

【期刊名】中国集成电路

【摘要】日前,安徽省合肥市人民政府发布消息称,合肥至微项目已正式量产,这是中国国内首个立项又最先量产的300mm晶圆再生工厂。据介绍,合肥至微项目总投资近10亿元,2020年3月正式开工,2020年12月项目设备基本搬入调试,2021年3月进入试生产阶段。该项目以14nm晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础

【年份】2021

【ISSN】1681-5289

【页码】30

【期号】8

【作者单位】合肥市人民政府

【期刊卷】30

【分类号】F283

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